TNO & ASML
Litho-Simulationsarbeitsplätze
Eine Reihe von Workstations für die Simulation von lithografischen Prozessen in der Chip-Produktion.
ASML stellt die Maschinen her, mit denen Mikrochips produziert werden. Die dabei zum Einsatz kommenden lithografischen Prozesse erfordern eine präzise Simulation – lange bevor eine Maschine das Werk verlässt.
Für dieses Projekt lieferten wir eine Reihe identisch konfigurierter Workstations, die von Ingenieurteams für Simulationsarbeiten genutzt werden.
Die Herausforderung
Konsistenz war entscheidend: Die Simulationssoftware musste auf allen Maschinen exakt gleich funktionieren. Dies erfordert nicht nur identische Hardware, sondern auch eine sorgfältige Verwaltung von Komponenten mit langen Lebenszyklen.
Was wir entwickelt haben
Eine standardisierte Workstation-Konfiguration mit Komponenten, die über mehrere Jahre hinweg verfügbar bleiben. Wir verwalten die Komponentenauswahl aktiv, damit zukünftige Erweiterungen der Serie identisch konfiguriert werden können.